| 流量系数 |
CV：0.53 |
| 工作温度 |
-20℃～+80℃ |
| 工作压力 |
最大工作压力：240bar |
| 氦气泄漏率 |
内泄漏率: 2×10-10mbarl/s; 外泄漏率: 2×10-10mbarl/s |
| EP |
0.4um/0.25um/0.15um |
| 阀体材质 |
AISI 316L VAR/AISI 316L/Hastelloy |
| 膜片材质 |
哈氏合金（Hastelloy) |
| 阀座材质 |
PCTFE/Vespel/PVDF/Metal |
| 进出口连接尺寸 |
1/2"MVCR/1/2"FVCR/1/2"Tube/3/8"Tube |
