组合模块阀
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描述
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属性
| 流量系数 | CV：0.26/0.53 |
| 工作温度 | -20℃～+80℃ |
| 工作压力 | 最大工作压力：240bar |
| 氦气泄漏率 | 内泄漏率: 1×10-9mbarl/s; 外泄漏率: 1×10-9mbarl/s |
| EP | 0.4um/0.25um/0.15um |
| 阀体材质 | AISI 316L VAR/AISI 316L/Hastelloy |
| 膜片材质 | 哈氏合金（Hastelloy) |
| 阀座材质 | PCTFE/Vespel/PVDF/Metal |
| 进出口连接尺寸 | 1/4"MVCR/1/4"FVCR/1/4"Tube/1/2"MVCR/1/2"FVCR/1/2"Tube/3/8"Tube |